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金融界2025年8月5日消息,国家知识产权局信息显示,埃特曼(北京)半导体技术有限公司申请一项名为“分子束外延设备的样品台及分子束外延设备”的专利,公开号CN120425453A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本申请涉及一种分子束外延设备的样品台及分子束外延设备。包括:托盘,用于承托待加工晶圆;托盘的中间镂空,使待加工晶圆的底面的部分露出,以用于外延生长;叉持件,从托盘的外周连接托盘,以固定托盘;叉持件的内侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接托盘的外侧;或者,托盘的外侧设置有至少两个周向间隔分布的凸起物连接叉持件的内侧,以减少热损失;支撑梁,设置有第一连接法兰,并通过第一连接法兰吊装在旋转机构的下方,以跟随旋转机构的转动而转动;支撑梁位于叉持件的上方;至少两个支撑柱,在竖直方向上连接叉持件和支撑梁,使叉持件和支撑梁联动。
天眼查资料显示,埃特曼(北京)半导体技术有限公司,成立于2019年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本8000万人民币。通过天眼查大数据分析,埃特曼(北京)半导体技术有限公司参与招投标项目1次,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可11个。
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